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本标准规定了镍蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及质量证明书与订货单
(或合同)内容。
本标准适用于半导体行业用的各类镍蒸发料。其他用途的镍蒸发料也可参照使用。
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GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)
检索的逐批检验抽样计划
GB/T 8647.8 镍化学分析方法 硫量的测定 高频感应炉燃烧红外吸收法
GB/T 8647.9 镍化学分析方法 碳量的测定 高频感应炉燃烧红外吸收法
GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
GB/T 26016—2010 高纯镍
镍蒸发料的类型按镍的纯度分为 IC-Ni99.99 和 IC-Ni99.995 两种。
镍蒸发料形状主要分为片状和柱状两种,如图1所示。
style="width:3.32666in;height:2.73328in" />
a) 片状 b) 柱状
图 1 镍蒸发料示意图
3.2.1 镍蒸发料的化学成分要求见表1。
GB/T 26032—2010
表 1 镍蒸发料化学成分要求
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3.2.2 镍蒸发料的非金属元素含量要求见表2。
表 2 镍蒸发料非金属元素含量要求
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GB/T 26032—2010
镍蒸发料以加工态供货。
镍蒸发料的规格及允许偏差如表3所示
表 3 镍蒸发料规格
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镍蒸发料表面应光亮平整、洁净,边、角完整,无飞边、无毛刺、无夹杂、无裂纹等缺陷;应清洁、无油
污和锈蚀;应无颗粒附加物和其他沾污。
4.1 镍蒸发料的杂质含量参考GB/T 26016—2010 附录A
采用辉光放电质谱(GDMS) 进行检测;非金 属杂质元素 S 的含量参考
GB/T8647.8 进行检测;非金属杂质元素 C 的含量分别参考 GB/T 8647.9
进行检测;非金属杂质元素 N、O、H 的分析方法由供需双方协商决定。
4.2 镍蒸发料几何尺寸的测量按GB/T15077
规定进行。客户特别要求,可按技术协议或按需方图
纸、来样检查。
4.3 外观质量用目视检查,如发现异常现象,用10倍放大镜鉴别。
5.1.1
镍蒸发料由供方检验部门进行检验,保证产品质量符合本标准(或订货合同)的规定,并填写质
量证明书。
5.1.2
需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验,如检验结果与本标准(或订货合同)的规定不符
时,应在收到产品之日起3个月内向供方提出,由供需双方协商解决。如需仲裁,仲裁取样由供需双方
共同进行。
镍蒸发料应成批提交检验。每批应由同一投料批、规格和牌号的产品组成。
GB/T 26032—2010
检验项目、取样位置及数量应符合表4的规定。
表 4 检验项目、取样位置及数量
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5.4.1
化学成分不合格时,判该锭不合格。重新取双倍数量的铸锭取样进行重复试验,若仍有不合格,
则判该批不合格。
5.4.2 几何尺寸不合格时,判该批产品不合格。
5.4.3 外观质量不合格时,判该批产品不合格。
在已检验合格的每瓶或每袋产品上应附标签,注明:
a) 产品名称;
b) 纯度;
c) 规格;
d) 净重;
e) 批号;
f) 生产日期;
g) 供方名称;
h) 生产厂家地址电话。
6.2.1
镍蒸发料内包装可采用塑料瓶包装和真空封装两种,塑料瓶包装的瓶口铝封膜要封口完整,无
开裂,无贯通。真空袋封口要平整无贯通,真空袋体无漏洞,无真空泄漏。
6.2.2 外包装采用纸箱或木箱包装。经供需双方协商还可采用其他方式包装。
6.2.3
产品运输过程中应防止碰伤、擦伤,不得损坏和沾污产品,并保证运输过程中产品及包装完整。
6.2.4 产品应保存于清洁的环境中。
style="width:3.11331in" />GB/T 26032—2010
每批产品应附有质量证明书,注明:
a) 客户名称;
b) 供方名称;
c) 产品名称;
d) 纯度;
e) 规格;
f) 数量;
g) 净重;
h) 批 号 ;
i) 检测报告和技术监督部门印记;
j) 生产日期;
k) 执行标准号。
订购本标准所列产品的订货单(或合同)内应包括下列内容:
a) 产品名称;
b) 纯度;
c) 规格;
d) 数量;
e) 执行标准号;
f) 其他。
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