声明

本文是学习GB-T 26032-2010 镍蒸发料. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们

1 范围

本标准规定了镍蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及质量证明书与订货单

(或合同)内容。

本标准适用于半导体行业用的各类镍蒸发料。其他用途的镍蒸发料也可参照使用。

2 规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本

文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)
检索的逐批检验抽样计划

GB/T 8647.8 镍化学分析方法 硫量的测定 高频感应炉燃烧红外吸收法

GB/T 8647.9 镍化学分析方法 碳量的测定 高频感应炉燃烧红外吸收法

GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法

GB/T 26016—2010 高纯镍

3 要求

3.1 产品分类

镍蒸发料的类型按镍的纯度分为 IC-Ni99.99 和 IC-Ni99.995 两种。

镍蒸发料形状主要分为片状和柱状两种,如图1所示。

style="width:3.32666in;height:2.73328in" />

a) 片状 b) 柱状

1 镍蒸发料示意图

3.2 化学成分要求

3.2.1 镍蒸发料的化学成分要求见表1。

GB/T 26032—2010

1 镍蒸发料化学成分要求

牌 号

IC-Ni99.99

IC-Ni99.995

Ni含量不小于/%

99.99

99.995

杂质含量/(×10-6),不大于

K

0.05

0.05

Na

0.5

0.5

Li

0.01

0.01

Be

0.01

0.01

Mg

10

1

Ca

0.05

0.05

Mn

10

0.1

Fe

20

20

Co

20

20

Cu

20

20

Zn

0.1

0.1

Cd

0.05

0.05

Al

10

5

Sn

3

0.1

Sb

3

0.1

Pb

3

1

Bi

3

0.05

B

20

0.1

As

5

5

Si

50

10

P

1

0.1

Ti

20

20

V

20

20

Cr

20

20

杂质总量/(×10-⁶),不大于

100

50

注1:镍的含量为100%减去表中杂质元素实测总和的余量;

注2:顾客对某种特定杂质元素含量有要求的,由供需双方协商确认。

3.2.2 镍蒸发料的非金属元素含量要求见表2。

2 镍蒸发料非金属元素含量要求

牌 号

IC-Ni99.99

IC-Ni99.995

非金属元素含量/(×10-6),不

大于

C

100

50

H

10

10

N

20

10

0

100

50

S

10

10

GB/T 26032—2010

3.3 供货状态

镍蒸发料以加工态供货。

3.4 几何尺寸

镍蒸发料的规格及允许偏差如表3所示

3 镍蒸发料规格

片状

柱状

A

B

C

R

D

L

尺寸/mm

10

10

2

1

3

6

15

15

2

1.5

6

6

7

20

允许偏差/mm

±0.5

±0.5

±0.2

±0.2

±0.5

注:经双方协商,可提供其他规格及允许偏差的镍蒸发料。

3.5 外观质量

镍蒸发料表面应光亮平整、洁净,边、角完整,无飞边、无毛刺、无夹杂、无裂纹等缺陷;应清洁、无油

污和锈蚀;应无颗粒附加物和其他沾污。

4 试验方法

4.1 镍蒸发料的杂质含量参考GB/T 26016—2010 附录A
采用辉光放电质谱(GDMS) 进行检测;非金 属杂质元素 S 的含量参考
GB/T8647.8 进行检测;非金属杂质元素 C 的含量分别参考 GB/T 8647.9
进行检测;非金属杂质元素 N、O、H 的分析方法由供需双方协商决定。

4.2 镍蒸发料几何尺寸的测量按GB/T15077
规定进行。客户特别要求,可按技术协议或按需方图

纸、来样检查。

4.3 外观质量用目视检查,如发现异常现象,用10倍放大镜鉴别。

5 检验规则

5.1 检查和验收

5.1.1
镍蒸发料由供方检验部门进行检验,保证产品质量符合本标准(或订货合同)的规定,并填写质
量证明书。

5.1.2
需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验,如检验结果与本标准(或订货合同)的规定不符
时,应在收到产品之日起3个月内向供方提出,由供需双方协商解决。如需仲裁,仲裁取样由供需双方
共同进行。

5.2 组批

镍蒸发料应成批提交检验。每批应由同一投料批、规格和牌号的产品组成。

GB/T 26032—2010

5.3 检验项目、取样位置和取样数量

检验项目、取样位置及数量应符合表4的规定。

4 检验项目、取样位置及数量

检验项目

取样位置

取样数量

要求的章条号

检验方法的章条号

化学成分

铸锭缩孔下

按铸锭数量的20%进行抽检,

但不少于1个铸锭;

每铸锭取1个样

3.2

4.1

尺 寸

成品随机取样

按GB 2828.1标准取S-1,

AQL=1.5抽取样品

3.4

4.2

表面质量

成品随机取样

按GB 2828.1标准取S-1,

AQL=1.5抽取样品

3.5

4.3

包装质量

逐件

6.2.1

4.4

5.4 检验结果判定

5.4.1
化学成分不合格时,判该锭不合格。重新取双倍数量的铸锭取样进行重复试验,若仍有不合格,
则判该批不合格。

5.4.2 几何尺寸不合格时,判该批产品不合格。

5.4.3 外观质量不合格时,判该批产品不合格。

6 标志、包装、运输、贮存

6.1 标志

在已检验合格的每瓶或每袋产品上应附标签,注明:

a) 产品名称;

b) 纯度;

c) 规格;

d) 净重;

e) 批号;

f) 生产日期;

g) 供方名称;

h) 生产厂家地址电话。

6.2 包装、运输和贮存

6.2.1
镍蒸发料内包装可采用塑料瓶包装和真空封装两种,塑料瓶包装的瓶口铝封膜要封口完整,无
开裂,无贯通。真空袋封口要平整无贯通,真空袋体无漏洞,无真空泄漏。

6.2.2 外包装采用纸箱或木箱包装。经供需双方协商还可采用其他方式包装。

6.2.3
产品运输过程中应防止碰伤、擦伤,不得损坏和沾污产品,并保证运输过程中产品及包装完整。

6.2.4 产品应保存于清洁的环境中。

style="width:3.11331in" />GB/T 26032—2010

6.3 质量证明书

每批产品应附有质量证明书,注明:

a) 客户名称;

b) 供方名称;

c) 产品名称;

d) 纯度;

e) 规格;

f) 数量;

g) 净重;

h) 批 号 ;

i) 检测报告和技术监督部门印记;

j) 生产日期;

k) 执行标准号。

7 订货单(或合同)内容

订购本标准所列产品的订货单(或合同)内应包括下列内容:

a) 产品名称;

b) 纯度;

c) 规格;

d) 数量;

e) 执行标准号;

f) 其他。

延伸阅读

更多内容 可以 GB-T 26032-2010 镍蒸发料. 进一步学习

联系我们

GB-T 42439-2023 锑矿石化学物相分析方法 锑华、辉锑矿和锑酸盐中锑含量的测定.pdf